华为投资光刻机公司,成为第七大股东

原创 smxdc.net  2021-06-11 11:49  阅读 7 views 次 评论 0 条

36氪获悉,据中国半导体论坛官方微信,华为旗下的哈勃投资公司开始投资光刻机领域,入股了由中科院微电子所控股的科益虹源公司。北京科益虹源光电技术公司日前发生了变化,注册资金从1.2亿元增加到2.02亿元,增长68%,新增投资人包括华为旗下的哈勃投资,占股4.76%,成为第七股东。科益虹源主要业务是光刻机中的三大核心技术之一的光源系统,是国内第一、全球第三的193nm ArF准分子激光器企业。

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